µ4CNC Modulare multifunktionale Vakuum-Mikromessstation nach dem CNC-Prinzip

Ziele

Ziel des Projekts ist der Aufbau des Prototyps einer modularen multifunktionalen Vakuum-Mikromessstation (VMM). Die maschineninterne Messumgebung wird dabei unter Vakuumbedingungen realisiert und erlaubt dennoch den Einsatz der VMM in Taktstraßen. Mit einer VMM lassen sich Oberflächen und Konturen von (kleinen) Bauteilen erfassen und überprüfen (ähnlich einem miniaturisierten Koordinatenmessgerät - kurz: Mikro-KMG), oder es können Materialkenngrößen der Tribologie (Reibkraftmessung) ermittelt und überprüft werden. Unter Rückgriff auf hochgenaue Antriebe werden sowohl Oberflächen (Profilometrie) als auch Positionen an Mikrobauteilen vermessen und geprüft, was die Grundlage für Qualitätssicherung in diesen Bereichen darstellt. Angestrebt wird ein kompaktes Gerät (50 cm × 50 cm × 50 cm), das auf industrielle Anwendungen zugeschnitten ist. Dem Trend der Miniaturisierung wird Rechnung getragen, indem Messkräfte mit Auflösungen im Mikronewton-Bereich angestrebt werden. Das Projekt bündelt die Ergebnisse und Erkenntnisse aus mehreren Kooperationsprojekten der Partner.

Personen

Projektleitung Intern

Wissenschaftliche Leitung

Publikationen
Integration of different hardware interfacing protocols into a robotic software framework

Elfert, P. and Tiemerding, T. and Fatikow, S.; Proceedings of Int. Conf. on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS); 2016

Integration of Different Hardware Interfacing Protocols into a Robotic Software Framework

Elfert, Patrick and Tiemerding, Tobias and Fatikow, Sergej; Proc. of International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at the Small Scales; 2016

Partner
TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH
www.tetra-ilmenau.de
GRINTECH GmbH
www.grintech.de
TU Ilmenau - Institut für Mikro- und Nanotechnologien
www.tu-ilmenau.de/mms

Laufzeit

Start: 01.10.2014
Ende: 31.12.2016

Fördermittelgeber

BMWi

Förderkennzeichen: KF2253911DB4