Ziel des Projekts ist der Aufbau des Prototyps einer modularen multifunktionalen Vakuum-Mikromessstation (VMM). Die maschineninterne Messumgebung wird dabei unter Vakuumbedingungen realisiert und erlaubt dennoch den Einsatz der VMM in Taktstraßen. Mit einer VMM lassen sich Oberflächen und Konturen von (kleinen) Bauteilen erfassen und überprüfen (ähnlich einem miniaturisierten Koordinatenmessgerät - kurz: Mikro-KMG), oder es können Materialkenngrößen der Tribologie (Reibkraftmessung) ermittelt und überprüft werden. Unter Rückgriff auf hochgenaue Antriebe werden sowohl Oberflächen (Profilometrie) als auch Positionen an Mikrobauteilen vermessen und geprüft, was die Grundlage für Qualitätssicherung in diesen Bereichen darstellt. Angestrebt wird ein kompaktes Gerät (50 cm × 50 cm × 50 cm), das auf industrielle Anwendungen zugeschnitten ist. Dem Trend der Miniaturisierung wird Rechnung getragen, indem Messkräfte mit Auflösungen im Mikronewton-Bereich angestrebt werden. Das Projekt bündelt die Ergebnisse und Erkenntnisse aus mehreren Kooperationsprojekten der Partner.