ROBOMAT ROBOter zur Bestimmung von Mikro-MATerialeigenschaften

Ziele

Ziel des Verbundprojekts RoboMat ist die Entwicklung einer mikroroboterbasierten Mess- und Prüfplattform für die Materialcharakterisierung mit teils integrierter Topographieabbildung. Hierzu sind verschiedene neuartige Sensoren zu entwickeln. Das System wird nach Entwicklung und Test im Labor in einen beispielhaften Fertigungsprozess für Mikrosystemtechnik-Komponenten (Hybridschaltungen der KFZ-Steuerelektronik) integriert.

Personen

Laufzeit

Start: 01.01.2005
Ende: 31.12.2007