APNTR Automatisierter Druckprozess von NTR-Sensoren auf der Nanoskala für ein AFM-SEM-System

Ziele

Im APNTR-nano Projekt soll ein voll-automatischer und wirtschaftlicher Herstellungsprozess von stark miniaturisierten Nanosensoren erforscht und entwickelt werden.  Diese innovative Neuentwicklung bedingt einen grundlegenden Technology-Step-Change im Herstellungsprozess und die damit einhergehende Erforschung und Entwicklung neuer Prozessführungsalgorithmen sowie neuer Messtechnologien. 

Insgesamt sollen die Nanosensoren unter Beibehaltung ihrer innovativen Eigenschaften um den Faktor 200-500 verkleinert werden (von wenigen Quadrat-Mikrometern auf wenige 100 Quadrat-Nanometer). Hierzu muss der existierende, automatische Herstellungsprozess mitsamt der bestehenden, anspruchsvollen Qualitätssicherung (in-situ Qualitätskontrolle) von der Sub-Millimeter-Skala auf die Nanoskala überführt werden. Auf diesen Skalen treten neue Störeinflüsse im Herstellungsprozess auf, die z.T. aus der Prozesskontrolle und Prozessführung selbst resultieren (Messung stört nanoskalige Systeme!) und hoch-innovative Neuentwicklungen bedingen.

Mit einer erfolgreichen Prozessetablierung für miniaturisierte NTR-Sensoren werden neue, vielversprechende Märkte für die Sensortechnologie erstmalig zugänglich.

Wissenschaftliche Leitung:

Dr. A. Kaya, Nanoscale Systems GmbH

Prof. Dr. Sergej Fatikow, Universität Oldenburg

 

Personen

Projektleitung Intern

Projektleitung Extern

Dr. Albert Sill
Partner
NanoScale Systems, Nanoss GmbH
www.nanoss.de

Laufzeit

Start: 01.05.2019
Ende: 30.04.2021

Fördermittelgeber

Bundesministerium für Wirtschaft und Energie