ZuNaMi Zukünftige Verfahren der Nano-/Mikroproduktion (sorry - only available in German)

Goal

ZuNaMi ist ein von OFFIS ohne Projektpartner durchgeführtes Projekt, das vom BMBF im Rahmenprogramm "Mikrosysteme" mit einem Budget von 500.000 Euro gefördert wird. Ziel des Projektes ist es, Grundlagen zukünftiger Produktionstechniken am Beispiel der Sensorentwicklung und -fertigung zu erforschen. Es soll eine Produktionsanlage zur Herstellung von Produkten für den Mikro- und Nanometerbereich aufgebaut und automatisiert werden. Die Anlage basiert auf Mikrorobotern, die mit einem leistungsfähigen Regelungssystem kontrolliert werden, und arbeitet im Inneren eines Raster-Elektronenmikroskops (REM).

Duration

Start: 31.05.2006
End: 27.05.2008