Die Handhabung und Charakterisierung von nanoskaligen Objekten hat sich zu einem breiten Forschungsgebiet in der Materialforschung und Nanotechnologie entwickelt. Dabei unterscheidet man prinzipiell zwischen zwei unterschiedlichen Ansätzen, dem so genannten „top-down“- und „bottom-up“ Ansatz. Beim „bottom-up“ Ansatz werden die physikalischen und chemischen Prinzipien der molekularen und atomaren Selbstorganisation ausgenutzt. Wohingegen es sich beim „top-down“ Ansatz um aus der Mikrosystemtechnik stammende Methoden und Verfahren handelt, die gezielt zum Aufbau von Nanostrukturen oder zur Handhabung nanoskaliger Objekte eingesetzt werden. Dazu gehören sowohl Standardverfahren aus der Siliziummechanik, als auch mikro- und nanorobotische Systeme. Die Entwicklung und der Einsatz solcher nanorobotischer Systeme, die überwiegend im Rasterelektronenmikroskop (REM) eingesetzt werden, ist die Hauptaufgabe dieser Arbeitsgruppe. Dabei werden folgende thematische Schwerpunkte verfolgt: Nanorobotische Handhabung und Charakterisierung von Kohlenstoffnanoröhren (CNTs) im REM, automatisierte AFM-basierte Nanomanipulation und die Kombination und Integration eines AFM/REM Systems.