Publikationen
Titel
Towards Automated AFM-based Nanomanipulation in a Combined Nanorobotic AFM/HRSEM/FIB System
Publikationsart
Tagungsbeitrag
Alle Autoren
Bartenwerfer, M. and Fatikow, S. and Tunnell, R. and Mick, U. and Stolle, C. and Diederichs, C. and Jasper, D. and Eichhorn, V.
Buchtitel
Proceedings of the IEEE International Conference on Mechatronics and Automation (ICMA'11)
Erscheinungsdatum
2011
Seiten
171-176
Adresse des Verlags
Beijing, China
