Publikationen
Titel
Automatisierte Handhabung und Montage von anpassbaren AFM-Messspitzen
Publikationsart
Tagungsbeitrag
Alle Autoren
Bartenwerfer, M. and Eichhorn, V. and Jasper, D. and Fatikow, S.
Buchtitel
Proceedings of the 3rd GMM Workshop on Micro-Nano-Integration
Erscheinungsdatum
2011
Seiten
102-107
Adresse des Verlags
Stuttgart, Germany
