Publikationen

Titel

Automated High-speed Nanopositioning inside Scanning Electron Microscopes

Publikationsart

Tagungsbeitrag

Alle Autoren

Jasper, Daniel; Fatikow, Sergej

Erscheinungsdatum

2010

Titel der Konferenz

IEEE Conference on Automation Science and Engineering (CASE)

Veranstalter der Konferenz

IEEE