Visuelle Rückkopplung bei der Mikro- und Nanohandhabung
Manipulations- und Fertigungsprozesse in der Mikro- und Nanowelt benötigen kontinuierlich Informationen über ablaufende Prozesse. Nicht alle Informationen können durch integrierte Sensoren geliefert werden. Hinzu kommt eine Positionsunbestimmtheit auf der Nanoskala durch Effekte wie thermische Ausdehnung, Umkehrspiel und einwirkende Kräfte. Die Gruppe "Visuelle Rückkopplung bei der Mikro- und Nanohandhabung" beschäftigt sich mit der Extraktion von Sensorinformationen aus Bilddaten für die Automatisierung. Es kommen verschiedene bildgebende Systeme wie CCD-Kameras, optische Mikroskope, Elektronenmikroskope und medizinische bildgebende Systeme zum Einsatz.